Установки вакуумного напыления

Установка вакуумного напыления – это высокоточное оборудование, применяемое для формирования тонких функциональных PVD-покрытий на металлических, керамических, полимерных и стеклянных подложках. Работа в условиях глубокого вакуума исключает влияние кислорода и примесей, обеспечивая высокую адгезию, равномерность плёнки и стабильность характеристик покрытия.

Такое оборудование является необходимым инструментом для исследовательских лабораторий, центров материаловедения, предприятий электроники, оптики и машиностроения.

Современная установка вакуумного напыления УВН поддерживает несколько промышленных технологий осаждения

• PVD-испарение, включая установки электронно-лучевого напыления;
• магнетронное распыление для формирования плотных и однородных металлических и диэлектрических плёнок;
• многокатодные PVD системы для получения сложных многослойных структур;
• гибридные комплексы, совмещающие испарение и распыление в одной камере.

Каждая напылительная установка в серии обеспечивает точный контроль вакуумных параметров, мощности источников распыления, температуры подложек и скорости осаждения. Такой функционал позволяет получать оптические, функциональные, барьерные, защитные и декоративные покрытия с предсказуемыми характеристиками.

Преимущества наших вакуумных напылительных установок

• Широкий выбор конфигураций: лабораторные, пилотные, серийные.
• Возможность интеграции магнетронов, электронно-лучевых испарителей, нагревателей, систем вращения подложек.
• Работа с металлами, оксидами, нитридами, алмазоподобными покрытиями, 2D-структурами.
• Совместимость с автоматизированными системами контроля процесса.
• Высокая стабильность параметров напыления в длительных технологических циклах.

Доступные решения в каталоге

Мы предлагаем как универсальные, так и специализированные PVD установки:

• Вакуумные напылительные установки для алмазных плёнок.
• Высоковакуумные системы магнетронного распыления.
• Оборудование для нанесения покрытий с высокой устойчивостью к испарению.
• Комплексы электронно-лучевого испарения.
• PVD-установки для нанесения многослойных покрытий.
• Системы для синтеза 2D-материалов и CVD-процессов.

Подбор оборудования и покупка

Если вы планируете установку вакуумного напыления купить, важно учитывать:

• объём и геометрию вакуумной камеры;
• тип источников напыления (магнетрон, электронно-лучевой, резистивный, дуговой);
• требования к вакуумной системе;
• диапазон температур подложки;
• перечень материалов и типов покрытий;
• необходимость автоматизации и регистрации параметров процесса.

Наши инженеры помогут подобрать оптимальный вакуумный напылитель – от лабораторного решения до полнофункциональной промышленной PVD системы для серийного производства.