en ru
map

+7 495 545-07-08

Анализатор газа в электронных устройствах EDA 407

Анализатор газа EDA-407Анализатор газа в электронных устройствах EDA 407 предназначен для качественного и количественного анализа заполняющего газа (H2O, He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4) в герметично закрытых микросхемах в 16, 24, 64, 108, 240, 304 -выводных металлокерамических корпусах по методу 222-1 ОСТ 11073.013 «Микросхемы интегральные. Методы электрических испытаний».

Анализатор EDA-407 оборудован двумя аналитическими высоковакуумными камеры, в которых производят разгерметизацию корпуса микросхемы. Каждая камера может отсекаться от средств откачки, имеет средства контроля вакуума и систему нагрева.

Масс-спектрометр, обеспечивает получение воспроизводимых результатов при обнаружении паров воды от 0,01±0,005 объёмного процента и более внутри корпуса исследуемой микросхемы при (100±5 °C). Масс-спектрометр также оборудован системой нагрева.

В комплектацию анализатора также входит:

  • Габаритные размеры EDA-407Система отбора пробы газа из камеры разгерметизации корпуса в масс-спектрометр.
  • Устройство разгерметизации микросхем с приводом от серво электродвигателя в каждой высоковакуумной камере.
  • Система управления.
  • Программное обеспечение.
  • Вакуумная система, включая клапаны, затворы, средства откачки, средства измерения.
  • Газовая система для подачи калибровочных газов.
  • Все другие необходимые для работы установки комплектующие, узлы и подсистемы.

Порядок работы на оборудовании:

  • После загрузки микросхемы в камеру проводят откачку и отжиг при температуре 125 °C. Откачку и нагрев камеры продолжают до тех пор, пока остаточное давление не перестанет оказывать влияние на точность и чувствительность измерений.
  • По окончании откачки температуру камеры устанавливают равной (100±5 °C), после чего корпус испытываемой микросхемы разгерметизируют механическим способом. Не допускается повреждение кристалла микросхем и основания. При этом давление в камере должно повыситься не менее, чем на порядок.
  • Далее, с помощью масс-спектрометра определяют объемную долю паров воды (в процентах к общему объему) и других выделившихся из корпуса газов.

Компания Вилитек осуществляет поставку, пуско-наладочные работы, сервисное обслуживание анализаторов EDA-407.


Основные технические характеристики

Потребляемая мощность

2000 Вт

Напряжение питания

220 В

Частота питающего тока

50 Гц

Количество аналитических высоковакуумных камер для анализа объектов с устройством разгерметизации

2 шт.

Диапазон измерения атомных единиц массы встроенного масс-спектрометра

1-300

Точность и повторяемость результатов измерений по H2O в диапазоне 5000 ppm

Не более 10%

Чувствительность по H2O

Не более 100 ppm

Чувствительность по другим газам

Не более 10 ppm

Размеры полезного пространства малой аналитической камеры

Не менее 60х60х25 мм

Размеры полезного пространства большой аналитической камеры

Не менее 100х80х40 мм

Количество устройств нагрева в установке

4 шт.

В том числе количество устройств нагрева с режимом работы, контролируемым с помощью встроенного в установку компьютера

2 шт.

Тип масс-спектрометра

Квадрупольный

Тип детектора масс-спектрометра

Цилиндр Фарадея с вторично-ионным умножителем

Тип встроенного высоковакуумного насоса

Турбомолекулярный

Количество встроенных высоковакуумных насосов

2 шт.

Тип встроенного форвакуумного насоса

Мембранный

Количество встроенных мембранных насосов

2 шт.





+7 495 545-07-08

ООО Вилитек © 2014-2024