Установка химического осаждения (CVD) для синтеза 2D материалов
Установка химического осаждения из газовой фазы (CVD) представляет собой высокотехнологичное оборудования для получения высококачественных тонких пленок и покрытий. Химическое осаждение из газовой фазы — это процесс, при котором подложка, располагаемая в камере, подвергается воздействию одного или нескольких газообразных веществ (прекурсоров) при определенных условиях (температура и давление), вступающих в реакцию разложения на поверхности подложки с образованием желаемого осадка. Эти условия подбираются таким образом, чтобы обеспечить высокую чистоту и однородность осаждаемого покрытия.
Система химического осаждения из газовой фазы включает в себя (CVD): систему подачи газа, трехзонную вакуумную трубчатую печь и систему вакуумирования.
Система подачи газа представляет собой систему с регулированием скорости подачи газовой смеси по четырем каналам. Дополнительно может быть установлено устройство очистки воздуха в соответствии с экспериментальными требованиями. Массовый расходомер установлен в герметичном съемном шкафу и изготовлен из сверхчистой двойной литой трубки из нержавеющей стали, соединенной с фитингом Bi-Lok. Контроллер оснащен сенсорным экраном.
Трехзонная вакуумная трубчатая печь, рассчитана на температуру 1200 °С и оснащена системой защиты протечек газа. Конструкция позволяет удобно разбирать и собирать трубку, а эксплуатация отличается максимальным удобством. Фланец оснащен быстроразъемным соединением, что сокращает объем работы при загрузке и выгрузке материалов. Пневматическая пружинная опорная конструкция позволяет операторам безопасно открывать печь.
Система химического осаждения из газовой фазы оснащена программным обеспечением от компании «Вилитек». Основные функции программного обеспечения:
- Ручной и автоматический режимы управления.
- Поддержка до 20 различных сценариев.
- Управление сценариями.
- Графическое отображение данных.
- Цветовая индикация используемых газов и сегментов установки.
Программное обеспечение от компании «Вилитек» обеспечивает высокую точность, надежность и удобство в управлении процессами в установке химического осаждения (CVD), делая оборудование максимально эффективным и простым в эксплуатации.
 |
 |
|
Параметр |
Значение |
|
Трехзонная вакуумная трубчатая печь |
|
|
Потребляемая мощность, кВт |
9 |
|
Напряжение, В/Гц |
208-240 АС / 50/60, 1 ф. |
|
Материал трубы |
Трубка из особо чистого кварца |
|
Размер трубы, мм |
Ø100 x 1400 |
|
Длина зон нагрева, мм |
300+300+300 |
|
Длина зоны постоянной температуры, мм |
500 |
|
Максимальная температура, °С |
1200 |
|
Рабочая температура, °С |
≤ 1100 |
|
Нагревательный элемент |
Провод высокого сопротивления (Fe-Cr-Al) |
|
Скорость нагрева, °С/мин |
15 (рекомендуемая) |
|
Точность регулировки, °С |
±1 |
|
Система уплотнений |
Оба конца трубки оснащены металлическим фланцем (включает в себя прецизионный игольчатый клапан, вакуумметр и соединитель сопла типа Pagoda). В конструкции предусмотрена возможность установки сопла других диаметров. |
|
Конструкция дверцы |
Печь открытого типа |
|
Габаритные размеры печи, мм |
1080х440х590 (без учета длины трубки) |
|
Система подачи газа |
|
|
Электропитание, В/Гц |
185-245 АС / 50 |
|
Максимальная выходная мощность, Вт |
18 |
|
Стандартный диапазон расхода, см3/мин |
He-10: 4000, N2/Ar: 10-5000, H2: 10-3000, C2H2/CH4: 10-1000 |
|
Рабочая температура, °С |
4-45 |
|
Рабочий перепад давления, МПа |
0,1-0,5 |
|
Максимальное давление, МПа |
3 |
|
Точность, % |
±1,5 на полную шкалу |
|
Диапазон измерения мановакуумметра, МПа |
-0,1…0,15 (0,01 МПа/сетка) |
|
Материал игольчатого клапана |
Нержавеющая сталь 316 |
|
Резервуар для газовой смеси, мм |
Ø80 x 120 |
|
Шаровой кран |
Отсечной кран с цифровым управлением (может управляться с помощью ПК) |
|
Габаритные размеры, мм |
600 x 600 x 650 |
|
Система вакуумирования |
|
|
Относительная влажность воздуха, % |
≤ 85 |
|
Электропитание, В/Гц |
220 АС ± 10%/ 50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт |
1 |
|
Общий предельный вакуум в системе, Па |
4,0 x 10-2 |
|
Экспериментальный вакуум, Па |
1.0 x 10-1 |
|
Быстрота действия, м³/час |
10 |
|
Емкость масляной системы, л |
1,1 |
|
Соединение на входе |
KF25 |
|
Соединение на выходе |
KF25 |
|
Частота вращения электродвигателя, об/мин |
1450 |
|
Уровень шума, дБ |
50 |
|
Габаритные размеры, мм |
600 x 600 x 600 |
ООО Вилитек © 2014-2024