Решения для лабораторий и высокотехнологичных производств

+7 495 545-07-08

Режим работы:

Пн-Чт: 9:00 - 18:00

Пт: 9:00 - 17:00

Сб-Вс: выходной

Заказать звонок

Установки магнетронного напыления для высокоточного вакуумного нанесения покрытий

Напылительные установки для высоковакуумного магнетронного распыления JCP350
JCP350

Установки вакуумного напыления – это высокоточное технологическое оборудование, предназначенное для получения тонкопленочных покрытий с контролируемыми свойствами. Современная установка магнетронного напыления обеспечивает формирование прочных, однородных и воспроизводимых слоёв на различных типах подложек благодаря использованию магнетронной плазмы и высоковакуумной среды.

Такая установка магнетронного распыления используется для нанесения металлических, диэлектрических и многослойных покрытий, демонстрируя высокую производительность, стабильность процесса и широкие возможности настройки параметров осаждения.

Принцип работы

Вакуумная магнетронная установка формирует рабочую камеру с высоким уровнем вакуума, что обеспечивает чистоту покрытия и управляемость процесса. Внутри камеры расположена мишень из выбранного материала, на которую подается высокочастотное или постоянное напряжение. В результате возникает плазма, которая ионизирует газ и вызывает выбивание атомов из мишени.

Использование магнитного поля – ключевая особенность установки вакуумного магнетронного напыления. Магнетрон удерживает электроны вблизи поверхности мишени, увеличивая плотность плазмы и эффективность распыления. Потоки атомов направленно осаждаются на подложку, формируя:

  • высокоадгезионные покрытия,
  • слои с заданной структурой,
  • пленки с требуемой толщиной и равномерностью.

Точное управление параметрами (мощностью, давлением, скоростью осаждения) делает вакуумную установку магнетронного распыления универсальным инструментом для научных, промышленных и лабораторных задач.

Применение оборудования

Установки магнетронного напыления широко используются в различных отраслях, где требуются стабильные функциональные покрытия:

  • Электроника и полупроводниковая промышленность – нанесение проводящих, барьерных и защитных слоев.
  • Оптика – формирование антибликовых, отражающих, защитных и интерференционных покрытий.
  • Авиационная и машиностроительная отрасль – повышение износостойкости и коррозионной устойчивости деталей.
  • Медицина и биотехнологии – создание биосовместимых, антимикробных и функциональных покрытий на инструментах и имплантах.

Благодаря гибкости настройки, установка магнетронного напыления подходит как для серийного промышленного производства, так и для исследовательских лабораторий, требующих высокой точности воспроизведения технологических процессов.


Напылительные установки для высоковакуумного магнетронного распыления JCP200 Напылительные установки для высоковакуумного магнетронного распыления JCP700
Напылительные установки для высоковакуумного магнетронного распыления JCPY500
JCP200 JCP700 JCPY500



Технические характеристики

Модель

JCP200

JCP350

Размер вакуумной камеры, мм (Ø × В)

220 x 300

350 x 350

Размер подложки, Ø мм

100

120

Неравномерность толщины пленки

± 5.0% (в пределах диапазона Ø 50 мм)

± 5.0% (в пределах диапазона Ø 75 мм)

Область напыления, Ø мм

50

50

Температура нагрева, ℃

до 500

Контроль подачи газа

1-2 канала контроля расхода газа

2-3 канала контроля расхода газа

Способ управления

Сенсорный экран управления + ПЛК

Сенсорный экран управления + ПЛК

Габариты установки, мм (Д×Ш×В)

600 × 800 × 1700

1620 × 1060 × 1900

Потребляемая мощность, кВт

≥ 6

≥ 8


Модель

JCP700

JCPY500

Размер вакуумной камеры, мм (Ø × В)

500 x 420

500 x 450

Размер подложки, Ø мм

150

150

Неравномерность толщины пленки

± 5.0% (в пределах диапазона Ø 100 мм)

± 5.0% (в пределах диапазона Ø 100 мм)

Область напыления, Ø мм

76

76 / 101 (опционально)

Температура нагрева, ℃

до 500

Контроль подачи газа

2-3 канала контроля расхода газа

3 канала контроля расхода газа

Способ управления

ПЛК/ ПК (опционально)

ПЛК/ ПК (опционально)

Габариты установки, мм (Д×Ш×В)

1900 × 800 × 1900

1800 × 800 × 1845

Потребляемая мощность, кВт

≥ 10

≥ 15

 

В нашем интернет-магазине вы можете подробно ознакомиться с характеристиками вакуумного оборудования для нанесения покрытий. Наши специалисты всегда готовы ответить на ваши вопросы и помочь подобрать оптимальное решение для ваших потребностей. Мы также предоставим актуальные цены на все товары, чтобы вы могли сделать обоснованный выбор. Ваш комфорт и удовлетворение — наш приоритет!