map

+7 495 545-07-08

Установки вакуумного напыления серии ZHDS

Установки вакуумного напыления серии ZHDS

Установки вакуумного напыления серии ZHDS – оборудование для нанесения тонкопленочных покрытий методом термического испарения. Они обеспечивают высокую точность и стабильность при создании покрытий из металлов и органических соединений, что делает их востребованными в электронике, нанотехнологиях, энергетике и научных исследованиях.

Установки серии ZHDS могут работать как автономно, так и в составе перчаточного бокса серии VBOX PRO, что позволяет проводить напыление в инертной среде, исключая контакт материалов с кислородом и влагой.

Преимущества установок вакуумного напыления ZHDS

  • Точность и равномерность – стабильное качество покрытия с контролируемой толщиной пленки.
  • Гибкость в работе – поддержка различных материалов, включая металлы (Al, Cu, Sn, Ti и др.) и органические соединения.
  • Безопасность и чистота процесса – возможность работы в инертной среде при интеграции с перчаточным боксом.
Установка вакуумного напыления ZHDS Установки вакуумного напыления ZHDS

Области применения

  • Наука и исследования – создание новых материалов, эксперименты с тонкими пленками.
  • Электроника – производство OLED-дисплеев, сенсоров, тонкопленочных транзисторов.
  • Энергетика – разработка перовскитовых солнечных элементов и литий-ионных аккумуляторов.
  • Авиация и космос – напыление антикоррозионных и термостойких покрытий.

Особенности оборудования

  • Два независимых испарителя – позволяют наносить разные материалы в одном технологическом цикле.
  • Программируемая система управления – задавайте параметры напыления, температуру испарения и скорость осаждения.
  • Интеграция с перчаточным боксом – возможность работы в инертной среде без контакта с кислородом и влагой.
  • Равномерное напыление – высокая скорость вращения подложки (0–20 об/мин) улучшает однородность покрытия.
  • Компактный и прочный корпус – защита от внешних воздействий и простота обслуживания.

Процесс напыления

Перед началом работы образец загружается в вакуумную камеру, после чего система насосов создает глубокий вакуум, удаляя посторонние газы и предотвращая окисление материалов. Далее оператор запускает испарители, которые нагревают материал до температуры, достаточной для его перехода в газообразное состояние. Частицы в процессе испарении оседают на подложке, формируя тонкопленочное покрытие с высокой степенью однородности. Интеллектуальная система управления контролирует параметры напыления в реальном времени. После завершения процесса камера охлаждается, стабилизируя осажденный слой и обеспечивая его адгезию.


Установки вакуумного напыления серии ZHDS


Технические характеристики

Параметр

Значение

Модель

ZHDS400

ZHDS500

Параметры электропитания

380 В ±5%, 50 Гц, 3 ф.

Общая потребляемая мощность, кВт

12

Потребляемая мощность системы испарения, кВт

5

Вакуумная система

Высоковакуумная система с молекулярным насосом

Предельный уровень разрежения, Па

5,0х10^-5 (после нагрева и дегазации)

Скорость откачивания воздуха

8х10^-4 Па за 40 мин

Внутренние размеры вакуумной камеры, ДхШхВ, мм

400х440х650

500х500х650

Размер стола подложки, мм

Выдвижной тип, 120 мм x 120 мм с возможностью поворота, подъема, водяного охлаждения

Выдвижной тип, 220 × 220 мм с возможностью поворота, подъема, водяного охлаждения

Материал вакуумной камеры

Нержавеющая сталь марки 304

Неравномерность толщины пленки

≤ ± 5% (в диапазоне 220 × 220 мм)

Частота вращения подложки, об/мин

0...20

Высота подъема платформы, мм

0...70

Охлаждение

Водяное

Способ управления

Сенсорный экран управления + ПЛК

Комплектация

Вакуумный насос, чиллер

Мощность, кВт

≥ 10

≥ 12

 

Наши специалисты помогут подобрать оптимальную конфигурацию оборудования под ваши задачи. Свяжитесь с нами, и мы подберем установку, которая обеспечит высококачественное покрытие и стабильные результаты!






+7 495 545-07-08

ООО Вилитек © 2014-2025