Интегрируемая установка вакуумного напыления для перовскитов и OLED

Интегрируемые установки вакуумного напыления серии ZHDS – это высокотехнологичные лабораторно-промышленные комплексы, предназначенные для нанесения тонкоплёночных покрытий методом термического испарения. Системы обеспечивают высокую точность, стабильность и воспроизводимость параметров, что делает их идеальным инструментом для создания органических, металлических и гибридных покрытий в области электроники, энергетики и научных исследований.

Благодаря модульной архитектуре, напылительная установка ZHDS может работать как автономно, так и интегрироваться с перчаточным боксом VBOX PRO, обеспечивая процесс напыления в атмосфере инертного газа – без контакта материалов с кислородом и влагой. Это делает установки особенно востребованными при производстве перовскитовых солнечных элементов, OLED-структур и органической электроники, где даже минимальное содержание примесей приводит к деградации свойств материала.

Преимущества вакуумных напылительных установок ZHDS

• Высокая точность и равномерность покрытия
  Контролируемая толщина плёнки и стабильность процесса благодаря технологически выверенным режимам.
• Гибкость в работе с материалами
  Поддержка металлов (Al, Cu, Sn, Ti и др.), органических соединений и многокомпонентных структур.
• Чистота и безопасность процесса
  Возможность работы в инертной среде при интеграции с перчаточным боксом – лучший выбор для перовскитов и OLED.
• Совместимость с лабораторными и производственными PVD-платформами
  Системы ZHDS могут использоваться как отдельное оборудование или как модуль в составе комплексных PVD систем.

Ключевые особенности оборудования

Два независимых испарителя
Позволяют наносить разные материалы (металлы, органику, перовскитные прекурсоры) в одном технологическом цикле, формируя многослойные структуры.

Программируемая система управления
Возможность задания режимов напыления, скоростей испарения, температур рабочих элементов и траекторий нанесения.

Интеграция с перчаточным боксом
Обеспечивает работу в атмосфере аргона или азота – критически важно для чувствительных перовскитных и OLED-материалов.

Равномерность напыления
Вращение подложкодержателя 0–20 об/мин обеспечивает высокую однородность покрытия по всей площади образца.

Надёжная конструкция
Компактный и прочный корпус снижает вибрации, упрощает обслуживание и защищает внутренние элементы установки.

Принцип работы и процесс напыления

1. Подготовка образца
   Подложка загружается в вакуумную камеру, после чего запускается система насосов.
2. Создание глубокого вакуума
   Удаляются примеси и остаточные газы, предотвращающие окисление чувствительных материалов.
3. Испарение материала
   Независимые испарители нагревают металлические или органические элементы до температуры перехода в газовую фазу.
4. Осаждение покрытия
   Потоки испарённых частиц конденсируются на поверхности подложки, формируя тонкоплёночное покрытие с высокой степенью однородности.
5. Контроль в реальном времени
   Интеллектуальная система управления отслеживает скорость осаждения и температуру, обеспечивая стабильность параметров.
6. Охлаждение и стабилизация слоя
   После завершения процесса камера постепенно охлаждается, улучшая адгезию материала.

Области применения

• Научные исследования – разработка новых материалов, изучение свойств тонких плёнок.
• Электроника – производство OLED-дисплеев, сенсоров, органических транзисторов.
• Энергетика – перовскитовые солнечные элементы, батарейные материалы.
• Авиация и космос – нанесение антикоррозионных, барьерных и термостойких плёнок.

Серия ZHDS – идеальный выбор для лабораторий, инженерных центров и малосерийных производств, где требуется сочетание точности, надёжности и гибкости.

Наши специалисты помогут подобрать оптимальную конфигурацию оборудования под ваши задачи. Свяжитесь с нами, и мы подберем установку, которая обеспечит высококачественное покрытие и стабильные результаты!