en ru
map

+7 495 545-07-08

Установка химического осаждения (CVD) для синтеза 2D материалов

Установка химического осаждения из газовой фазы (CVD)Установка химического осаждения из газовой фазы (CVD) представляет собой высокотехнологичное оборудования для получения высококачественных тонких пленок и покрытий. Химическое осаждение из газовой фазы — это процесс, при котором подложка, располагаемая в камере, подвергается воздействию одного или нескольких газообразных веществ (прекурсоров) при определенных условиях (температура и давление), вступающих в реакцию разложения на поверхности подложки с образованием желаемого осадка. Эти условия подбираются таким образом, чтобы обеспечить высокую чистоту и однородность осаждаемого покрытия.

Система химического осаждения из газовой фазы включает в себя (CVD): систему подачи газа, трехзонную вакуумную трубчатую печь и систему вакуумирования.

Система подачи газа представляет собой систему с регулированием скорости подачи газовой смеси по четырем каналам. Дополнительно может быть установлено устройство очистки воздуха в соответствии с экспериментальными требованиями. Массовый расходомер установлен в герметичном съемном шкафу и изготовлен из сверхчистой двойной литой трубки из нержавеющей стали, соединенной с фитингом Bi-Lok. Контроллер оснащен сенсорным экраном.

Трехзонная вакуумная трубчатая печь, рассчитана на температуру 1200 °С и оснащена системой защиты протечек газа. Конструкция позволяет удобно разбирать и собирать трубку, а эксплуатация отличается максимальным удобством. Фланец оснащен быстроразъемным соединением, что сокращает объем работы при загрузке и выгрузке материалов. Пневматическая пружинная опорная конструкция позволяет операторам безопасно открывать печь.

Система химического осаждения из газовой фазы оснащена программным обеспечением от компании «Вилитек». Основные функции программного обеспечения:

  1. Ручной и автоматический режимы управления.
  2. Поддержка до 20 различных сценариев.
  3. Управление сценариями.
  4. Графическое отображение данных.
  5. Цветовая индикация используемых газов и сегментов установки.

Программное обеспечение от компании «Вилитек» обеспечивает высокую точность, надежность и удобство в управлении процессами в установке химического осаждения (CVD), делая оборудование максимально эффективным и простым в эксплуатации.


Программное обеспечение установки химического осаждения
 Программное обеспечение установки химического осаждения


Технические характеристики

Параметр

Значение

Трехзонная вакуумная трубчатая печь

Потребляемая мощность, кВт

9

Напряжение, В/Гц

208-240 АС / 50/60, 1 ф.

Материал трубы

Трубка из особо чистого кварца

Размер трубы, мм

Ø100 x 1400

Длина зон нагрева, мм

300+300+300

Длина зоны постоянной температуры, мм

500

Максимальная температура, °С

1200

Рабочая температура, °С

≤ 1100

Нагревательный элемент

Провод высокого сопротивления (Fe-Cr-Al)

Скорость нагрева, °С/мин

15 (рекомендуемая)

Точность регулировки, °С

±1

Система уплотнений

Оба конца трубки оснащены металлическим фланцем (включает в себя прецизионный игольчатый клапан, вакуумметр и соединитель сопла типа Pagoda). В конструкции предусмотрена возможность установки сопла других диаметров.

Конструкция дверцы

Печь открытого типа

Габаритные размеры печи, мм

1080х440х590 (без учета длины трубки)

Система подачи газа

Электропитание, В/Гц

185-245 АС / 50

Максимальная выходная мощность, Вт

18

Стандартный диапазон расхода, см3/мин

He-10: 4000, N2/Ar: 10-5000, H2: 10-3000, C2H2/CH4: 10-1000

Рабочая температура, °С

4-45

Рабочий перепад давления, МПа

0,1-0,5

Максимальное давление, МПа

3

Точность, %

±1,5 на полную шкалу

Диапазон измерения мановакуумметра, МПа

-0,1…0,15 (0,01 МПа/сетка)

Материал игольчатого клапана

Нержавеющая сталь 316

Резервуар для газовой смеси, мм

Ø80 x 120

Шаровой кран

Отсечной кран с цифровым управлением (может управляться с помощью ПК)

Габаритные размеры, мм

600 x 600 x 650

Система вакуумирования

Относительная влажность воздуха, %

≤ 85

Электропитание, В/Гц

220 АС ± 10%/ 50/60

Потребляемая мощность, кВт

1

Общий предельный вакуум в системе, Па

4,0 x 10-2

Экспериментальный вакуум, Па

1.0 x 10-1

Быстрота действия, м³/час

10

Емкость масляной системы, л

1,1

Соединение на входе

KF25

Соединение на выходе

KF25

Частота вращения электродвигателя, об/мин

1450

Уровень шума, дБ

50

Габаритные размеры, мм

600 x 600 x 600

 





+7 495 545-07-08

ООО Вилитек © 2014-2024