Турбомолекулярные насосы

Турбомолекулярные насосы для приборостроения

Для создания высокого вакуума после форвакуумного насоса устанавливается турбомолекулярный насос, который включается на этапе откачки с 10⁻⁴ до 7,5⁻¹¹ мм рт. ст. Турбомолекулярные насосы отличаются низким энергопотреблением, возможностью установки в любой ориентации, большими промежутками между плановыми обслуживаниями (от 3 до 5 лет). Насосы быстро включаются и выключаются с помощью функции торможения, что крайне важно для производства и для научных экспериментов. Кроме того, скорость вращения можно точно регулировать, что гарантирует корректную работу аналитических приборов.

Все насосы из данного раздела применяются в электронной микроскопии, масс-спектрометрии, для обнаружения утечек, анализов поверхностей и остаточных газов.  Модели FF-63/80, FF-100/150, FF-100/300 дополнительно используются для мониторинга и исследований плазмы, ядерных и криогенных исследований, в ускорителях частиц, нано- и биотехнологиях. Насос FF-100/300 может использоваться, помимо вышеперечисленного, в медицине, электронно-лучевой сварке, в работах, посвященных физике элементарных частиц.

Турбомолекулярные насосы для приборостроения компактны и имеют малый вес (от 2.6 до 11 кг) и в то же время высокопроизводительны (от 22 до 300 л/сек), обладают большой способностью перекачивать газы с малой молекулярной массой.  Доступно изготовление для питания от источника 24 В или 220 В. Диаметр входного фланца (CF или KF) соответствует числу в наименовании модели, стоящему между FF- и /. Насосы с входными фланцами 40 и 100 помимо воздушного охлаждения могут быть изготовлены для подключения водяного охлаждения. Время выхода на режим от 2 до 4 (мин). 

Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой

Высокопроизводительные турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой имеют скорость откачки от 700 до 2000 л/с, отличаются большим количеством областей применения, стабильной производительностью, возможностью работы в неблагоприятных условиях (пыльных помещениях, помещениях с высокой температурой). Доступно изготовления для питания от источника 24 В или 220 В. Диаметр входного фланца (CF или KF) соответствует числу в наименовании модели, стоящему между FF- и /. Время выхода на режим от 3 до 18 (мин).

*все модели имеют водяное охлаждение с расчётной скоростью потока охлаждающей жидкости от 1 л/мин. Модели FF-100/110, FF-160/700F, FF-200/1300F  могут иметь воздушное охлаждение вместо водяного

Все насосы, перечисленные в таблицах ниже, имеют водяное охлаждение, рассчитанное на расход охлаждающей воды от 1 л/мин и более. Модели F-100/150 и FF-160/620F могут быть также изготовлены для охлаждения конвекцией. Количество оборотов составляет от 13500 до 42300 об/мин в зависимости от модели.

Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом

Насосы с подшипниками на магнитном подвесе обеспечивают парения шарика подшипника благодаря магнитной силе без какой-либо механической поддержки, не требуют смазки. Регулировка осуществляется по 5 осям, стабильность и надежность гарантируются динамическим откликом, динамически активной технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, высокой скоростью вращения вала. К дополнительным преимуществам относятся низкая вибрация, отсутствие загрязнения, отсутствие трения. Ротор изготовлен из композиционного материла, смеси углеродного волокна и алюминия. По сравнению с обычными роторами из алюминия, роторы из композита обладают рядом преимуществ, такими как низкий вес, высокая прочность, надежность. Проточная часть выполнена из элементов, обработанных по особой технологии защиты от коррозионных газов, что особенно актуально при производстве полупроводников и других задач связанных с работой в среде агрессивных газов. Дополнительно насосы имеют функцию контроля и регулировки температуры и оснащены электронагревателем и регулятором температуры, для того чтобы поддерживать температуру на определенном уровне в течение длительного времени. У насосов данной серии превосходная способность к экстракции веществ, которые являются твердыми при нормальной температуре и газообразными во время процесса.

Молекулярные насосы с магнитной левитацией в основном применяются в области производства полупроводников, промышленного нанесения покрытий и научных приборов, особенно для откачки агрессивных газов, используемых при травлении, CVD и PVD. Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом применяются в литографии, PVD, CVD, плазменном травлении, LED / OLED, MBE (молекулярно-лучевой эпитаксии), в исследованиях фотоэлектрического эффекта, электронно-лучевой сварке, термической обработке и в вакуумных печах, в криогенике, медицине, нано- и биотехнологиях. Также широко применяются в ядерных исследованиях, при термоядерном синтезе, в ускорители частиц, при моделировании космического пространства и для экспериментов по физике элементарных частиц.

Все насосы данной серии имеют водяной тип охлаждения, рассчитанный на поток от 2 л/мин для моделей CXF-200/1401 и CXF-200/1402, и на поток от 3 л/мин для остальных моделей. Доступно изготовления насосов для питания 100 В или 220 В. Магнитное поле составляет 3 мТл (радиальная составляющая), 15 мТл (аксиальная составляющая). Остаточное давление зависит от типа уплотнений, при использовании уплотнения из витона (фторкаучук) давление составляет 1×10^-7 Па, при работе с металлическим уплотнением - 1×10^-8 Па. Однако у насосов CXF-320/3001/3002 может быть только уплотнение из витона. Количество оборотов составляет от 21000 до 30000 об/мин. Время выхода на режим от 6 до 10 минут.

О производителе

Компания KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. основана в 1958 году и является одной из первых компаний, начавших активно развивать вакуумные технологии в Китае, на протяжении всего времени она изготавливает и предлагает вакуумные решения для клиентов по всему миру. Первые китайские сканирующие микроскопы, гелиевые детекторы утечек и турбомолекулярные насосы были разработаны именно KYKY. Области применения оборудования охватывают сферы от естественных наук и биоинженерии до аэрокосмической отрасли.

Первый вертикальный турбомолекулярный насос KYKY был разработан в 70-х годах. С тех пор ассортимент постоянно расширяется и следует за спросом на рынке, появились инновационные продукты, например, турбомолекулярные насосы с масляной смазкой, с консистентной смазкой, с магнитной левитацией, ионные насосы, затворы и контроллеры.