Установка вакуумного напыления ZHDS400

Характеристики установки вакуумного напыления ZHDS400

Бренд: Vilitek
Модель: ZHDS400
Страна производства: Китай
Сервисный центр в РФ: ООО Вилитек
Гарантия: 12 месяцев
Цена: по запросу
Параметры электропитания: 380 В ±5%, 50 Гц, 3 ф.
Потребляемая мощность системы испарения: 5 кВт
Вакуумная система: высоковакуумная система с молекулярным насосом
Предельный уровень разрежения: 5,0х10^-5 Па (после нагрева и дегазации)
Скорость откачивания воздуха: 8х10^-4 Па за 40 мин
Внутренние размеры вакуумной камеры, ДхШхВ: 400х440х650 мм
Размер стола подложки: выдвижной тип, 120 мм x 120 мм с возможностью поворота, подъема, водяного охлаждения
Материал вакуумной камеры: нержавеющая сталь марки 304
Неравномерность толщины пленки: ≤ ± 5% (в диапазоне 220 × 220 мм)
Частота вращения подложки: 0...20 об/мин
Высота подъема платформы: 0...70 мм
Охлаждение: водяное
Способ управления: сенсорный экран управления + ПЛК
Комплектация: вакуумный насос, чиллер
Мощность: ≥ 10 кВт