Прямоугольные затворы для высокого вакуума

Прямоугольные затворы для высокого вакуумаЗатворы этой серии изготавливаются с пневмоприводом. Эти затворы отличаются эффектным внешним видом и рациональной конструкцией. Кроме того, они обладают целым рядом преимуществ: стабильная работа, слабая вибрация при ударной нагрузке, износостойкие, высокий класс герметичности, длительный срок службы и др. Благодаря таким качествам эти модели на первом месте при выборе затворов для автоматизированного вакуумного оборудования в полупроводниковой промышленности. Затворы этой серии приводятся в действие пневмоцилиндром под действием сжатого воздуха. Привод приводит в действие поворотный рычаг, соединенный с пластиной затвора, и перемещает пластину между ее начальным и конечным положениями. Эти затворы предназначены для работы с чистым воздухом и неагрессивными газами.

Производство сертифицировано на соответствие

Особенности и возможности:

  • В конструкции используются несколько роликов, при этом обеспечивается равномерное распределение усилия. Это обеспечивает плавное открывание затвора, понижая уровень шума и вибрации.
  • Стабильная работа с низким уровнем шума.
  • В конструкции используется сильфон из нержавеющей стали и уплотнительное кольцо из фторкаучуковой резины.
  • Сварные швы корпуса затвора из нержавеющей стали исполнены внутри для повышения класса герметичности.
  • Через прямоугольное проходное отверстие затвора пропускается большее количество обрабатываемых изделий за один цикл, а конструкция затвора позволяет более рационально использовать рабочее пространство.


Основные технические характеристики

Диапазон рабочего давления

1x10-6 - 1,2x105 Па

Перепад давлений при открывании

≤2x103 Па (в любом направлении)

Норма герметичности, не более

1,3х10-7 Па∙л/с

Установленный ресурс в циклах до первого техобслуживания

10000

Температура прогрева затвора для обезгаживания

≤150 °C

Положение установки

Вертикально или горизонтально

Источник питания

220 В, 50 Гц, 6 Вт или 24 В пост. ток, 3 Вт (можно заказать затвор, рассчитанный на другие параметры источника питания)

Давление в пневмоцилиндре

0,5 - 0,7 МПа

Время открывания (закрывания) затвора

Зависит от номинального диаметра

Индикация состояния затвора

Индикация открытого и закрытого положения (магнитный переключатель)

Масса затвора

Зависит от номинального диаметра


Внешние размеры

Внешние размеры больших вакуумных затворов

Модель

Внешние размеры, мм

A

B

C

D

E

F

G

H

I

GCQ-250X600

250

600

1146

758

818

790

190

150

146

GCQ-580X800

580

800

2300

1624

984

940

280

170

190

GCQ-2300X170

170

2300

1102

570

2710

2710

114

250

230

Размеры зависят от фактического конструктивного исполнения затвора, обращайтесь к официальному дистрибьютору за дополнительной информацией.


Если интересующих Вас позиций нет в наличии на складе в Москве, они могут быть поставлены под заказ.

Все цены указаны с учетом НДС 20% и других налогов и обязательных платежей, на условиях самовывоза со склада ООО Вилитек в Москве. Оплата осуществляется в рублях по курсу ЦБ РФ на день оплаты. Для государственных заказчиков цена фиксируется в рублях на период проведения закупочной процедуры и поставки. Осуществляем доставку по России, в Белоруссию и Казахстан. Стоимость доставки оплачивается дополнительно по тарифам выбранной транспортной компании (работаем со всеми транспортными компаниями и службами доставки).