en ru map

+7 (495) 545 07 08

Установка FZ 14 M для аналитических целей

Установка роста кристаллов fz14m.jpg Системы выращивания кристаллов методом зонной плавки (FZ) производят сверхчистые монокристаллы. Этот материал используется, главным образом, для электроники с высокими характеристиками и производства поликристаллического кремния.

Модель FZ-14M разработана для аналитических целей. Эта установка для выращивания кристаллов кремния методом зонной плавки специально разработана согласно требованиям стандарта F1723-96 ASTM. Система FZ-14M превращает миниатюрные стержни поликристаллического кремния в монокристаллический кремний для использования с целью оценки качества и чистоты поликристаллического материала. Согласно требованиям стандарта F1723-96 образцы из середины поликристалла кремния преобразуются в монокристаллы кремния в установке для выращивания кристаллов методом зонной плавки. Этот стержень преобразуется за один прогон в среде аргона. Монокристалл анализируется спектрофотометрическими способами для определения следовых примесей в поликристалле. Следовые примеси делятся на акцепторы (бор и/или алюминий), доноры (фосфор и/или мышьяк) и углерод.

Установка роста кристаллов FZ14 для аналитических целей: Технические характеристики. Английский, 156 Кб

Преимущества и особенности:

  • Масло (углеводороды) не используются ни в одном компоненте
  • Сверхнизкое естественное загрязнение (или отсутствует)
  • Превосходное качество компонентов
  • Небольшая масса (алюминиевая рама)
  • Высоковакуумная система с турбомолекулярным насосом
  • Электропневматическое управление
  • Система фиксации дверцы с дистанционным управлением

Основные компоненты установки FZ-14M:

Установка для выращивания кристаллов FZ-14M в сборе состоит из следующих компонентов:

  • Рафинирующая печь зонной плавки
  • Высокочастотный генератор
  • Высоковакуумная система с турбомолекулярным насосом
  • Панель управления
  • Система предварительного нагрева с электропневматическим управлением
FZ14M установка роста поликристаллов кремния

Испытательная установка для выращивания поликристаллов кремния FZ-14M поставлена нескольким ведущим мировым производителям поликристаллического кремния.