en ru map

+7 (495) 545 07 08

Установка FZ 14 для выращивания кристаллов кремния методом зонной плавки

Система роста кристаллов fz14 Система для выращивания кристаллов кремния методом зонной плавки FZ-14 – это полностью оптимизированная установка для производства монокристаллов кремния в промышленном масштабе или для научных целей.

Эта установка с тщательно продуманной конструкцией удовлетворяет всем требованиям процесса выращивания кристаллов кремния диаметром до 4 дюймов и имеет компактные габариты. Эта установка позволяет выращивать кристаллы длиной до 1300 мм и диаметром до 3 дюймов или диаметром до 4 дюймов и длиной до 450 мм.

Установки роста кристаллов FZ 14 эксплуатируются на многих предприятиях полупроводниковой промышленности во всём мире, а обратная связь с заказчиками обеспечивает непрерывное развитие технологии и усовершенствование оборудования.

Преимущества и особенности:

  • Масло (углеводороды) не используются ни в одном компоненте
  • Сверхнизкое естественное загрязнение (или отсутствует)
  • Превосходное качество компонентов
  • Небольшая масса (алюминиевая рама)
  • Высоковакуумная система с турбомолекулярным насосом
  • Электропневматическое управление
  • Система фиксации дверцы с дистанционным управлением

Основные компоненты установки:

Установка для выращивания кристаллов FZ-14M в сборе состоит из следующих компонентов:
  • Рафинирующая печь зонной плавки
  • Высокочастотный генератор
  • Высоковакуумная система с турбомолекулярным насосом
  • Панель управления
  • Система предварительного нагрева с электропневматическим управлением

Установка FZ-14M поставлена нескольким ведущим мировым производителям поликристаллического кремния.