en ru map

+7 (495) 545 07 08

Установка для выращивания кристаллов кремния FZ 30

Установка роста кристаллов FZ30В 2000 г. было презентовано уникальное решение в области выращивания кристаллов методом зонной плавки: установка FZ-30 для выращивания кристаллов кремния диаметром 8 дюймов и длиной 2000 мм – самого большого размера на сегодняшний день.

Система FZ-30 сконструирована для выращивания очень крупных монокристаллов кремния большого диаметра при наиболее эффективном использовании поликристаллического кремния, служащего исходным сырьём.

Установка FZ-30 состоит из главной, верхней и нижней камер, верхнего и нижнего механизмов вытягивания кристалла и имеет модульную конструкцию. Модель FZ-30 полностью оснащена дверцами для доступа, имеет контур-накопитель, панель управления, высокочастотный генератор, систему регистрации данных и платформу для оператора Эта установка может работать при рабочем давлении до 4 бар (абс.).

Система для выращивания очень больших кристаллов FZ-30 сконструирована так, что её центр тяжести совпадает с зоной расплава. Эффективная система обеспечения работы системы реализует самоцентрирование и защищает от внешних вибрационных воздействий. Главная камера имеет несколько отверстий для специальных приложений и приборов.

Преимущества и особенности:

  • Безмасляная система уплотнения
  • Гидравлическая платформа для оператора
  • Система регистрации данных для автоматического режима работы
  • Устройство автоматического измерения диаметра
  • Подвижная катушка с высокоточным позиционированием
  • Подвижный в горизонтальной плоскости верхний шпиндель
  • Система предварительного нагрева графита
  • Дистанционное управление положением отражателя
Установка для выращивания кристаллов кремния методом зонной плавки FZ-30: Технические характеристики. Английский, 162 Кб

Установка выращивания очень больших кристаллов FZ-30 успешно зарекомендовала себя в промышленном производстве за годы эксплуатации, начиная с 2001 г.

Установка роста кристаллов кремния fz30_big.jpg